整个VOD工序包括3个阶段：抽真空、脱碳、还原及脱硫。抽真空阶段包括合金化、脱氮和化学加热。脱碳阶段分为强制脱碳和自然脱碳两部分。最后阶段包括加料、还原及脱硫两部分。

　　真空合金化

　　如果初始铬和锰含量与目标值的差别不大，可以在吹氧前往钢包中加入高碳和中碳合金。使用廉价合金取代真空处理后投入的昂贵(低碳)合金可以降低精炼成本。

　　脱氮

　　对于普通钢种(如AISI304)，为了降低氩气的消耗，AOD转炉在整个工艺过程中吹氮气，因此VOD初始氮含量会很高(≥1500ppm)，所以在吹氧前必须脱氮。一般说来，为了脱氮，所有气泵都应开启以确保真空压力低于0.2kPa，吹氩速度按中速控制。

　　化学加热

　　脱氮和合金化可能会使温度过低而无法脱碳，所以需要化学加热。通过添加少量铝可以实现化学加热，但是铝的加入量应少于钢水重量的0.15%，否则将很难获得纯净的钢水。